您当前的位置：首页 >法规库>财政部规范性文件

财政部关于部分集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品税收政策的通知

【时效性】	有效	【颁布日期】	2002-08-24
【颁布单位】	财政部	【实施日期】	2002-07-01
【法规层次】	财政部规范性文件	【文　　号】	财税〔2002〕136号
【首选类别】	国库管理	【次选类别】
【其它类别】		【其它类别】
【关键字】	国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知

海关总署，信息产业部：

根据《国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》（国发〔２０００〕１８号）的有关规定，经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品的税收政策通知如下：

一、自２０００年７月１日起，对在中国境内设立的投资额超过８０亿元或集成电路线宽小于０．２５微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列自用生产性原材料、消耗品，免征关税和进口环节增值税。

二、由国家计委将符合上述条件的集成电路生产企业名单通知海关总署，海关对这些企业进口的生产性原材料、消耗品按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并作好后续监管工作。

三、商品目录原则上每年调整一次，由信息产业部会同国家计委、财政部、外经贸部、海关总署、税务总局等有关部门提出意见，报国务院审批。

四、附件所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。

五、国家计委对符合条件的集成电路生产企业名单、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。

特此通知。

附件：

部分集成电路生产企业免税进口自用生产性原材料、消耗品目录

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
1	一、直接原材料	树脂	树脂	1 ． 01	32149000	塑封胶	RESIN/Molding Compound/CHIP COAT
2		树脂	导电树脂	1 ． 02	38249090	导电胶
3		胶膜	保护膜	2 ．01	39209090	（硅片／光掩模、光罩）保护膜	（ UV/ICROS TAPE/PELLICLEGALSS) TAPE
4			硅片正面保护膜	2 ． 02	39199090	贴膜／（ UV感应及非感应背磨／晶背研磨）胶带／胶膜	UV＆ NON一 UV CURABLEBACKGRINDING TAPE
5				2 ． 03	39199090	剥离膜／揭膜（塑料制成卷，宽度）20cm)	ADHESIVE TAPE（ plastic)
6				2 ． 04	39199099	剥离膜／揭膜（塑料制成卷，宽度＜二20cm)	ADHESIVE TAPE（ plastic)
7			剥离膜	2 ． 05	40169990	剥离膜／揭膜（橡胶制）	ADHESIVE TAPE（ rubber)
8		基板	基板	3 ． 01	85340090	基板（未装器件的印刷电路板）	SUBSTRATE
9		基板	基板	3 ． 02	85425000	线路板	PC BO.A RD
10		支撑带	支撑带	4 ． 01l	85425000	支撑带	TAB TAPE

续表1

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
11	一、直接原材料	硅片	硅片（晶片）	5 ． 01	38180019	硅片／调整片／晶元	WAFER/DIE
12				5． 02	38180090	辅助（挡控）硅片	（ Dummy) WAFER
13				5 ． 03	28046110	多晶硅（硅棒）
14				5 ． 04	38180090	硅圈，晶元	Wafer
15		特殊气体	高纯度单质气体高纯度混合气体高纯度刻蚀气体高纯度成膜气体其他高纯度特殊气体	6 ． 01	28011000	氯气	CHLORINE
15				6 ． 02	28042100	氢气	ARGON
16

				6 ． 03	28042900	氛气	XENON
17				6 ． 03	28042900	氛气	XENON
18				6 ． 04	28042900	氦气	HELIUM
19				6 ． 05	28043000	氮气	NITROGEN
20				6 ． 06	28111990	澳化氢	HYDROGEN BROMIDE
21				6 ． 07	28112100	二氧化碳	CARBON DIOXIDE
22				6， 08	28112900	一氧化碳	CARBON MONOXIDE
23				6 ． 09	28112900	一氧化二氮（笑气）	NITROUS OXIDE
24				6 ． 09	28112900	一氧化二氮（笑气）	NITROUS OXIDE
24				6， 10	28510090	二氯（甲）硅烷	DICHLOROSILANE
25				6， 10	28510090	二氯（甲）硅烷	DICHLOROSILANE
25				6， 11	28121049	三氯化硼	BORON TRICHLORIDE

续表2

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
26	一、直接原材料	特殊气体	其他高纯度特殊气体	6 ． 12	28121049	三氟化氯	CHLORINE TRIFLUORIDE
27				6 ． 13	28129000	三氟化硼	BORON TRIFLUORIDE
28				6 ． 14	28121049	六氟化硫	SULFUR HEXAFLUORIDE
29				6 ． 15	28129000	三氟化氮	NITROGEN TRIFLUORIDE
30				6 ． 16	28141000	氨气	AMMONIA
31				6 ． 17	28261900	六氟化钨	TUNGSTEN HEXAFLUO-RIDE
32				6 ． 18	38249090	硅烷氦气混合气体	SILANE/HELIUM
33				6 ． 19	28500000	（甲）硅烷	MONOSILANE
34				6 ． 20	38249090	（甲）硅烷氮气混合气体	MONOSILANE/NITROGEN
35				6 ． 21	29033090	三氟甲烷	TRIFLUOROMETHANE
36				6 ． 22	29033090	四氟化碳	TETRAFLUOROMETHANE
37				6 ． 23	29033090	六氟化二碳	HEXAFLUOROETHANE
38				6 ． 24	29033090	二氟甲烷	DIFLUORO METHANE
39				6 ． 25	29035900	八氟环丁烷（八氟化四碳）	OCTA一 FLUOROCYCLOBU-TANE（ C4F8）

续表3

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
40	一、直接原材料	特殊气体	其他高纯度特殊气体	6 ． 26	29035900	八氟环戊烯（八氟化五碳，八氟环戊烷）	OCTA一 FLUOROC－YCLOPENTEN（ C5 F8）
41				6 ． 27	38249090	氢氖混合气体	KRYPTON/NEON
42				6 ． 28	38249090	氢氟氖混合气	KRYPTON/F2/NEON
43				6 ． 29	38249090	氟氖混合气	F2/Ne
44				6 ． 30	38249090	氧气氨气混合气体	OXYGEN/ARGON
45				6， 31	38249090	磷烷氦气混合气体	PHOSPINE/HELIUM
46				6 ． 32	38249090	甲烷氨气混合气体	METHANE/ARGON
47				6 ． 33	28041000	氢气	Hydrogen
48				6 ． 34	28044000	液氧
49				6.35	38249090	氯化氢氮气混合气体
50				6 ． 36	28499090	六碳化铬	CrC6
51				6 ． 37	38249090	蚀刻化学品	CR一 3ST CHROMIUM ETCHANT
52				6 ． 38	29033090	六氟化二碳	C2 F4
53				6 ． 38	29033090	六氟化二碳	C2 F4
53				6 ． 39	38249090	氦／氢混合气	He/H2
54				6 ． 39	38249090	氦／氢混合气	He/H2
54				6 ． 40	38249090	磷化氢／氢气	PH3/H2

续表4

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
55	一、直接原材料	特殊气体	其他高纯度特殊气体	6 ． 41	38249090	磷化氢／氦气	PH3/He
56				6 ． 42	38249090	硅甲烷／磷化氢混合气	PH3 /SiH4
57				6 ．43	28121049	六氯化硅	Si2C16
58				6 ． 44	28500000	六氢化硅	Si2H6
59				6 ． 45	29310000	三甲基硅烷	SiH（ CH3） 3
60				6 ． 46	38249090	四氢化硅／氦气	SiH4/HE2
61				6 ． 47	38249090	乙硼烷／氮气混合气体	Diborane/Nitrogen（ B2H6/N2）
62				6 ． 48	38249090	氟／氮气混合气体	Flourine/Nitrogen
63				6 ． 49	38249090	氦气／氮气混合气体	Helium/Nitrogen
64				6 ． 50	28061000	氯化氢	Hydrogen Chloride
65				6 ． 51	28121049	四氟化硅	Silion Tetrafluoride（ SiF4）
66				6 ． 52	28480000	磷化氢	Phosphine
67				6 ． 53	28061000	氯化氢	Halocarbon
68				6 ． 54	38249090	高纯度砷烷／氢气	ASH3/H2
69				6 ． 55	38249090	乙硼烷／氦气	B2H6/He

续表5

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
70	一、直接原材料	特殊气体	其他高纯度特殊气体	6 ． 56	2812900	高纯度氟化硼	BF3
71				6， 57	2850000	砷化氢	Arsine
72				6 ． 58	38249090	氢气氮气混合气	H2/N2
73				6 ． 59	38249090	磷化氢硅烷混合气	PH3/SiH4
74				6 ． 60	29033090	六氟乙烷	C2F6
75				6 ． 61	29033090	四氟甲烷	CF4
76				6 ． 62	29033090	氟甲烷	CH3F
77				6 ． 63	28111100	氟化氢	HF
78				6， 64	28500000	氢化砷	ASH3
79				6 ． 65	28129000	氟化硼	BF3
80				6 ． 66	28261990	氟化锗	GeF4
81				6 ． 67	38249090	氧气氦气（氦气氧气）混合气体	02/He
82				6 ． 68	38249090	磷烷氮气混合气	PH3 /N2
83				6 ． 69	38249090	氧气氮气混合气体	02/N2
84				6 ． 70	28112900	一氧化氮	NO

续表6

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
85	一、直接原材料	特殊气体	其他高纯度特殊气体	6 ．71	38249090	硅烷氢气混合气	SiH4， N5（ 20％）／ Ar
86				6．72	38249090	乙硼烷氢气混合气	B2H6/H2
87				6 ．73	28510090	二氯二氢硅
88		光刻工艺用化学品	显影液光刻胶防反射薄膜生成液稀释液聚酞亚胺原液增粘剂	7 ．01	37079090	显像液，显影液（光刻显像剂）	Developer， Tetramethyl Ammo- nium Hydroxide Solution，（ De- veloper Series)
89				7 ．02	37071000	光刻胶	Photoresist
90				7 ．03	38249090	防反射薄膜生成液	CVD 成膜用／防反射薄膜成膜用 /BARC DUV/BARC
91				7 ．04	38140000	稀释液（光刻显像稀释剂）	PM Thinner （ THINNER series)
92				7 ．05	38140000	（净化）稀释液	Cleaning Solution Thinner
93				7．06	39119000	聚酞亚胺原液（感光性聚酞亚胺）	Sumiresin Excel（ HP/Photo sen sitive polymide)
94				7 ．07	29310000	双（三甲基硅）胺	Hexamethyldisilazane OAP
95				7， 08	?29141900	甲基戊基酮	Methyl Amyl Keton

续表7

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
96	一、直接原材料	光刻工艺用化学品		7 ． 09	29337900	N一甲基一 2一毗咯烷酮	N一 Methyl一 2一 Pyrolidone
97				7 ． 10	34059000	氧化铝研磨浆	Slurry
98				7 ． 11	37013090	光刻工艺专用高等级感光胶片
99		抛光剂	抛光剂	8 ． 01	34059000	研磨剂	PLANERLITE， Semi一 SperseAqueous Dispersions， DP一PASTE， AqueousDispersions/PLANERLITE
100				8 ． 02	34029000	用于化学机械研磨（ CMP）表面活性剂	CMPSURFACTANT
101				8 ． 03	34059000	CMP研磨粒子	CMP abstrasive particle
102				8 ． 04	34059000	二氧化柿研磨剂	SLURRY HS一 DLS
103				8 ． 05	32074000	钝化玻璃粉
104		掺杂源	固态掺杂源气态掺杂源液态掺杂源	9， 01	28047090	（高纯度）红磷	High Purity Red Phosphorus
105				9 ． 02	28048000	（高纯度金属）砷	Arsenic Metal
106				9， 03	28129000	硼源
107				9 ． 04	38249090	锑扩散乳胶源

续表8

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
108	一、直接原材料	掺杂源	固态掺杂源气态掺杂源液态掺杂源	9 ． 05	28258000	三氧化二锑
109				9 ． 06	29121020	磷酞氯（三氯氧磷）	Phosphorus Oxychloride
110				9 ． 07	29273990	高纯度三氯化锢	INDIUM TRICHLORIDE
1 11				9 ． 08	282611900	四氟化锗	GeF4
112				9 ． 09	282611900	三氟化锢	InF3
113		刻蚀液	氟系刻蚀液剥离液磷酸	10．01	38249090	氢氟酸缓冲液／氢氟酸混合液	BufferedHydrogenFluoride
114				10．02	38249090	氢氟酸硝酸混合液	FilmEtchPoly
1 15				10．03	28111100	氢氟酸	HydrofluoricAcid（ HF)
116				10．0 4	38249090	录 j离液	Resist Strip， IC461
1 17				10．05	38249090	氧化物刻蚀缓冲剂	BUFFERED OXIDE ETCH
1 18				10．06	38249090	氟化氢氟化氨混合液	BOE ETCH
119				10．07	29053100	乙二醇	ETHYLENE GLYCOL
120				10，08	38249090	乙二醇＋氟化胺	EG」一 NHQF
121				10．09	29310000	六甲基乙硅烷	HMDS/HD POLYIMIDE

续表9

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
122	一、直接原材料	刻蚀液	氟系刻蚀液录」离液磷酸	10． 10	382490911	铝刻蚀（液） /M2混合酸	DAE DEFRECKLING ALU－ MIMUN ETCH/M2 Acid/Al Etch
123				10． 11	37071000	感光乳液
124				10． 12	38249090	酸，碱度调整添加剂	ACID＆ Alkali PH adjuster additives
125				10． 13	34021900	BTA/EDA化学品	BTA， EP GRADE IHBENJO TRIAJOLE 100G/BT
126				10． 14	28332500	含水硫酸铜	CuS04 ． 5H20
127				10． 15	28273500	氯化镍	NICKLE CHLORIDE
128				10． 16	28309090	硫化镍	NICKELSULFATE
129				10． 17	38249090	无尘室用原位氧化刻蚀剂	NOE（ NATIVE OXIDE ETCHING)
130				10． 18	29171110	草酸	CIREX FOR CMP/COOH OXALIC ACID
131				10． 19	28061000	盐酸	HYDROCHLORIC ACID （ HCl）

续表10

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
132	一、直接原材料	刻蚀液	氟系刻蚀液剥离液磷酸	10． 20	28261000	氟酸按	AMMONIUM FLUORIDE 40％
133		刻蚀液	氟系刻蚀液剥离液磷酸	10． 21	29041000	甲烷磺酸（甲基磺酸）	METHANESULFONIC ACID
134		清洗液	乙醇硫酸硝酸磷酸氨水过氧化氢异丙醇盐酸高纯度混合酸	11 ．01	22071000	乙醇（纯度等级高于PPM)	Ethanol
135				11 ．02	28070000	硫酸（纯度等级高于PPM)	Sulfuric Acid
1 36				11 ．03	28080000	硝酸（纯度等级高于PPM)	Nitric Acid
137				11 ．04	28092010	磷酸（纯度等级高于PPM)	Phosphoric Acid
138				11 ．05	28142000	氨水（纯度等级高于PPM)	Super Pure Ammonium Hydrox- ;de Elm/NH3 ． H20（ AR）
139				11 ．06	28470000	过氧化氢（双氧水）（纯度等级高于PPM)	HydrogenPeroxide
140				11 ．07	29051220	异丙醇（纯度等级高于PPM)	IsopropylAlcohl
141				11 ．08	28152000	氢氧化钾（纯度等级高于PPM）	POTASSIUM HYDROXIDE SOLUTION
142				11， 09	28261900	氟化钾（纯度等级高于PPM)	POTASSIUM FLUORIDEKF

续表11

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
143	一、直接原材料	清洗液	高纯度混合酸	11．10	38249090	混合酸（ 1.M2etching即硝酸＋醋酸＋氢氟酸； 2. 硝酸＋醋酸＋磷酸； 3. 氢氟酸＋氟化按）（纯度等级高于PPM)
144				1 1 ． 11	28142000	氢氧化馁（纯度等级高于PPM）	AMMONIUM HYDROXIDE PPB
145				1 1 ． 12	38220090	铝酸盐试剂（纯度等级高于PPM）	MOLYBDATE 3 REAGENT
146				11， 13	29051990	异丙基乙醇（纯度等级高于PPM）	ISOPROPYL ALCOHOL PPB
147				1 1 ． 14	34029000	清洗溶液（磺酸馁溶液）（纯度等级高于PPM)	W RS一 200（ surfactant)
148				1 1 ． 15	29189000	晶片清洗溶剂（ 1一甲氧基丙基乙酸酷）（纯度等级高于PPM)	RINSE FOR POLYMIDE
149				11， 16	38249090	光刻胶去除剂（纯度等级高于PPM）	STRIPPER FOR PHOTORE SIST

续表12

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
150	一、直接原材料	清洗液	高纯度混合酸	11.17	29189000	甲氧基乙酸丙脂（纯度等级高于 PPM）	RER 600 PPB
151		清洗液	高纯度混合酸	11 ． 18	29141100	丙酮（纯度等级高于 PPM)	Acetone
152		电镀液	电镀原液添加剂退锡剂其他调整剂电镀分析试剂	12． 01	11081900	可溶性淀粉	SOLUABLESTARCH
153				12． 02	28012000	碘	IODINE
154				12． 03	38220090	标准硼溶液	BORON STANDARD SOLU- TION
155				12． 04	38249090	变色硅胶	SILICON GEL
156				12． 05	29041000	无氟酸／无氟铅／无氟锡	NF ACID/AF LEAD/NF TIN
157				12． 06	28080000	发烟硝酸	FUMING NITRIC
158				12， 07	38249090	HC酸液	SOLDERON ACID HC
159				12． 08	28151100	氢氧化钠	NAOH
160				12． 09	38249090	RD浓液	SOLDERON RD
161				12． 10	38220090	铅标准溶液	STANDARD LEAD CONC 100MLB
162				12． 11	38249090	缓冲氧化物	BUFFERED OXIDE ETCHANT 10： 1 W /OHS

续表13

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
163	一、直接原材料	电渡液	电镀原液添加剂退锡剂其他调整剂电镀分析试剂	12． 12	28261100	氟化氨	NH4F
164				12． 13	292760000	碘化钾	POTASSIUM IODIDE 500ML/BTL
165				12． 14	25010020	氯化钠（精制盐）	NACL 50KGBTL（ AR ）
166				1'l ． 15	28323000	硫代硫酸钠	Na2S203 500ML/BTL
167				12． 16	38220090	铜标准溶液	STANDARD CUPPER CONC100MLBTL
168				12． 17	38220090	铁标准溶液	SODIUM IRON CONE 100MLBTL
169				12． 18	28362000	无水碳酸钠	SODIUM CDRBONDTE 500G/BTL
170				12． 19	29054500	无水甘油	GLYCERINE
171				12． 20	29072210	对苯二酚	HYDROQUINONE
172				12． 21	38220090	酚酞试剂	PHENOLPHAHALEIN（ 5 ． 5／25G)50MLBTL

续表14

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
173	一、直接原材料	电渡液	电镀原液添加剂退锡剂其他调整剂电镀分析试剂	12． 22	38249090	退锡剂	TL一 9010
174				12． 23	29152190	乙酸	CH3COOH
175				12 ． 24	29041000	甲磺酸	NF ACID 30KG/CAN
176				12， 25	38220090	硬度试剂／硬度滴定液	HARDRESSREAGENT/TITRART SOLUTION HARDRESS
177				12． 26	38249090	DPD余氯试剂／氟化电子回流液	DPD TOTAL CALORINERE REAGENT
178				12． 27	34039900	切割冷却液	CUTTING FLUID
179				12． 28	34029000	表面活性剂制品	MODIFIER/72BC ADDITIVE/BUFFERED ETCH
180				12． 29	38249090	NaOH/Na3P04 /Na2C03 Mr. 合液	ENBOND CA 一 S
181				12． 30	38249090	PH调节剂	PH ADJUSTOR
182				12． 31	83119000	锡铅球（锡占 80％）	SOLDER
183				12． 32	38109000	助焊剂	ALPHAR TYPE 100＃

续表15

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
184	一、直接原材料	成膜专用化学品	绝缘膜生成剂无机硅成膜剂	13． 01	38249090	绝缘膜生成剂	Sumika Film
185				13 ． 02	28273990	四氯化钦	TiCt4
1 86				13， 03	29190000	磷酸三乙酉旨	TEPO
1 87				13． 04	29190000	磷酸三甲醋	Trimethyl Phosphate
188				13． 05	29190000	硼酸三乙醋	TEB
189				13 ．06	29190000	硼酸三甲酉旨	Trimethyl Borate
190				13． 07	29310000	四乙氧基硅烷＋氦气（氦气为保护气）	Tetraethoxysilane TEOS
191				13． 08	29310000	四乙氧基硅烷＋氮气（氮气为保护气）
192				13．09	29153300	醋酸丁醋	Butyl Acetate
193				13． 10	29181100	乳酸乙酉旨	乳酸Ethyl
194				13． 11	29310000	十二甲基硅醚	DODE CAMETHYLCY一 CLOHEXASILOXANE

续表16

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
195	一、直接原材料	成膜专用化学品	绝缘膜生成剂无机硅成膜剂	13． 12	29310()00	十甲基硅醚	DECAMETHYLCYCLOPENT－ASILOXANE
196				13． 13	29310000	四甲基硅醚	HEXAMETHYLDISILOXANE
197				13， 14	29310000	六甲基硅醚	HEXAMETHYLCYCLOTRISI -LOXANE
198				13． 15	9310000	八甲基硅醚	OCTAMETHYL-CYCLOTETRASILOXANE
199				13． 16	29310000	二甲基硅醇	TRIMETHYLSILANOL
200				13． 17		偏氯乙烯	TRANSI一 2一DICHLOROETH YLENE
200				13． 17	29032900	偏氯乙烯	TRANSI一 2一DICHLOROETH YLENE
201				13． 18	29310000	四一二钾胺钦	TDMA1， Tetrakisdimethylamine Titanium
202				13． 19	29310000	四氧乙基硅	TEOS
203				13． 20	38249090	光罩蚀刻机清洗剂（无机酸混合物）	AP/Mineral Acid
204				13． 21	38249090	蚀刻化学药品／铬蚀刻液	CR/chromium etching

续表17

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
205	一、直接原材料	成膜专用化学品	绝缘膜生成剂无机硅成膜剂	13． 22	34029000	表面活性剂制品	TK
206				13 ．23	29310000	三乙基硼烷	TEB
207				13 ．24	39049000	六氟代聚丙烯	COOLANT Ualden（ R） HT200
208		掩膜版	掩膜版光刻版	14． 01	70200019	掩膜版	EXPOSED＆ DEVELOPED PHOTOMASK
209		掩膜版	掩膜版光刻版	14 ．02	70200019	光刻模板	Mask， Mask substrate material
210		靶材	靶材	15． 01	74199990	铜靶材（＞ 99％）	Ultra High Purity Sputterring Target
211				15． 02	76169990	铝靶材（ >99％）	Ultra High Purity Sputterring Target
212				15． 03	81019900	钨金属靶（ >99%）	Target（ tungsten）
213				15． 04	76169990	铝一铜靶（ A1>99%,Cu< -1％）	TARGET AL一 Cu
214				15． 05	76169990	铝一硅靶（ A1 ＞ 99％， SK=1％）	TARGET Al一 Si
215				15． 06	76169990	铝一硅一铜靶（ A1 ＞ 98%,Si<1％，Cu< 1％）	TARGET AI一 51一 Cu

表18

序一号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
216	一、直接原材料	靶材	靶材	15．07	81059000	钻靶（>99％）	TARGET Co
217				15．08	75089090	镍靶（＞ 99％）	TARGET Ni
218				15．09	81039000	钮靶（＞ 99％）	｝ TARGET Ta
219				15，10	81089090	钦靶（ Ti＞ 99％）	TARGET TI
220		金线	金线	16．01	71081300	金线（ 99 ． 99％）	GOLD WIRE
221		引线框架	引线框架	17．01	85429000	引线框架、支架	LEAD FRAME
222		银浆	银浆	18．01	38249090	银浆	AG PASTE
223	二、间接生产材料	O型圈	O型圈	1 ．01	40169910	O型圈	O ring
224		组装专用吸头	组装专用吸头	2 ．01	38269010	吸头	vaccum TIP
225				2 ．02	39269901	真空吸杆	Vaccum Pick一 up System
226				2 ．03	40169910	橡胶吸嘴	SPONGE VACUUM CUPS
227		承载托盘	承载托盘	3 ．01	39269090	承载带／覆盖带／托盘（常温、高温）	CARRIER TAPE/TRAY
228		研磨垫子	研磨垫子	4 ．01	68042290	研磨垫子	Polishing Pad/BackingPad

续表19

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
229	二、间接生产材料	研磨垫子	研磨垫子	4 ． 02	68042100	化学机械研磨钻石盘	Diamond Disks for CMP
230				4 ． 03	39269010	化学机械研磨胶垫中间软垫（塑料）	insert film（ plastic）
231				4 ． 04	40169310	化学机械研磨胶垫中间软垫（橡胶）	insert film（ rubber)
232				4 ． 05	39269010	化学机械研磨头内垫（橡胶制）	membrance
233		防静电专用内包装材料	防静电专用内包装材料	5. ．01	39209990	包装袋
234				5 ． 02	39231000	硅片盒／晶舟盒	CASSETTE
235				5 ． 03	48239090	硅片衬纸
236				5 ． 04	40161010	海绵（衬垫）
237				5 ． 05	38220010	指示纸
238				5， 06	38249090	干燥剂
239				5 ． 07	76129090	防潮铝袋
240				5 ． 08	39269090	缓冲垫
241				5 ． 09	39235000	防静电 ?/SPAN>包装紧固黑塞	BLACK FORM

续表20

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
242	二、间接生产材料	防静电专用内包装材料	防静电专用内包装材料	5 ． 10	39269090	防静电泡棉	POLLY PINK
243				5 ． 11	39231000	防静电内包装盒	INTER CARTON
244				5.12	39172900	材料管	TUBE
245				5 ． 13	39235000	防静电内包装紧固白塞	CLEAR PLUG
246				5 ． 14	76129090	真空包装袋（铝制）	ALUMINIUM BAG
247				5 ． 15	38220010	湿度指示卡	H一 I一 CARD
248				5 ． 16	58061090	魔带	VELSO STRAP（ 50EABOX)
249				5 ． 17	39269010	塑料吸收棉
250				5.18	40161010	橡胶吸收棉	CHEMICAL SERBENT PADS
251				5 ． 19	39191099	防（抗）静电胶带	ANTI一 ACID TAPE
252		生产线产品传输用品		6.01	1920999n	高温（低温）隔离带	HIGH TEMP SEPERATOR
253		生产线产品传输用品		6 ． 02	39269010	吸头（硅橡胶）	SARCON 45F SILICONRUBBER
254		硅片清洗专用刷		7 ． 01	96035091	化学机械研磨胶垫处理刷子	PVA BRUSH

续表21

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
255	二、间接生产材料	真空泵油		8 ． 01	34031900	真空泵油
256		分析用试剂	分析用试剂	9 ． 01	28363000	碳酸氢钠	SODIUM HYDROGEN CAR －BONATE
257				9 ． 02	29152190	醋酸	ACETIC ACID
258				9．03	29189000	丙二醇甲醚己酸酉旨	PROPYLENE GLYCOL METHYL ETHERACETATE
259				9 ． 04	38220090	甲基橙试剂	METHYL ORANGE
260				9 ． 05	38249090	冰醋酸混合液	NSG一 ACETIC ACID MIXEDSOLUTION
261				9 ． 06	38249090	异丙醇乙二醇混合液	ORGANO FLUX（ 3355一 11）
262				9 ． 07	28131000	二硫化碳	CARBON DISULFIDE
263				9 ． 08	38220090	柠檬酸试剂	CITRIC ACID REAGENT
264				9 ． 09	39221100	单乙醇胺	MONO ETHANOLAMINE
265				9 ． 10	38220090	氨基酸试剂	AMINO ACID REAGENT
266		交换树脂	交换树脂	10． 01	39140000	离子交换树脂

续表22

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
267	二、间接生产材料	过滤材料	过滤材料	1 1 ．01	38021000	活性炭
268				11， 02	38159000	触媒
269				1 1 ． 03	61079000	过滤袋（纺织材料制）	FITLER BAGS
269				1 1 ． 03		过滤袋（纺织材料制）	FITLER BAGS
270				11 ． 04	39232900	阳极袋（ PVC）	ANODE BAGS 1821， 5*
271				11 ． 05	39209990	反渗透膜	RO membrance for clean room
272		过滤芯	过滤芯	12． 01	84212990	（液体）过滤芯	FILTER
273				12． 02	84213990	（气体）过滤芯	FILTER
274				12． 03	84213990	其他过滤芯	FILTER
275		高分子材料	脱模剂	13． 01	34039900	脱模剂	MOLD WAX RELEASE 909C
276		超洁净分析物料	超洁净分析物料	14． 01	39232100	无菌取样袋（PE)	DIW Sample Bag
277				14． 02	39269090	无菌塑料针管	Plastic Syringe
278				14． 03	39233000	无菌采样容器（杯瓶）
279				14． 04	38210000	超纯水细菌培养基	m一 Heterotrophic Plate countmedium

续表23

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
280	二、间接生产材料	石英制品	扩散用／化学气相沉积用／湿法工艺用／干法工艺用石英制品	15．01	70200019	生产用石英制品
281				15．02	68043090	打磨石	LAPPING PLATE FOR SHINKAWA IL一 20
282				15．03	69149000	瓷嘴	CABILIARY
283		生产线产品传输用品		16．01	82032000	晶片镊	TWEEZER， WAFER
284		生产线产品传输用品		16．02	84283990	晶片传送器	TRANSFER， HORIZONTAL，WAFER，
285		光罩盒	光罩盒	17．01	39269090	光罩盒	Reticle/Mask POD
286		探针／探针卡		18．01	84799090	探针一粉／探针	prober card
287		探针／探针卡		18，02	85444990	探针连接线（电线）	prober card cable
288		探针卡清洗片／针尖清洗片	探针卡清洗片／针尖清洗片	19．01	68052000	（探针卡／针尖）清洗片
289		洁净室专用框架	C1ass100及以下洁净室专用柜架	20．01	70193900	无（防）尘网（玻璃纤维，铝框架）

续表24

序号	性质	类别	健别	序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
290	二、间接生产材料	专用记录标识用品超净保护用品	C1ass100及以下专用记录标识用品C1ass100及以下超净保护用品Class100及以下洁净室清洁用品Class100及以下防静电用品	20 ．02	39262000	无（防）尘鞋套（ PVC制）
291				20 ．03	63071000	无（防）尘洁净布
292				20 ．04	63079000	无纺布防尘鞋套
		洁净全有洁用品防静电用品

293				20 ．05	62101090	（无纺布）防尘服
294				20 ．06	62113290	（棉）防尘服、无尘服
295				20 ．07	63079000	无纺布口罩
296				20 ．08	64039900	无（防）尘鞋（皮革制）
297				20 ．09	63079000	无纺布头套（ 100级）
298				20 ．10	62114300	超净化无尘衣（ 100级）	Clean Room Suit/Garment
298				20 ．10		超净化无尘衣（ 100级）	Clean Room Suit/Garment
299				20 ．11	40151900	橡胶手套
300				20 ．12	62160000	无纺布手套
301				20 ．13	39262000	塑料手套	ANTI一 ACID Glove
302				20 ．14	68129000	耐高温手套（石棉）
303				20， 15	84213990	气体滤毒盒

续表25

序号	性质	类别		序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
304	二、间接一生产材料			20．16	39199090	塑料制粘尘垫	SCOURING
305				20．17	63071000	吸液棉／无尘室吸液布
306				20.18	32159090	打点墨水
307				20．19	8,)438990	电子标签	Smart tag
308				20．20	39199090	洁净室专用薄膜（有粘性）	BLUE TACKY MAT
309				20．21	39204300	洁净室专用 PVC薄膜（无粘性）	Plastic sheets
310				20．22	48201000	洁净室用笔记本／标签／无尘笔记本	Clean room notebook/Lable/ Clipboard， Clean room， Kit W/ Paper
3 11				20．23	62160000	棉线五指手套	Full Finger glove liner Small
312				20．24	62171090	防尘腰带
313				20．25	48235900	无尘纸	clean paper
314		洁净室专用灯管	Class100及以下洁净室专用灯管	21．01	85392999	专用离子回流灯
315				21，02	83932911	专用氛灯	Xeon Lamp
316				21．03	85393290	专用卤素灯	Halogen Lamp

续表26

序号	性质	类别	序号	税则号列	商品名称	英文品名（企业参考）
317	二、间接生产材料		21 ． 04	85393290	专用汞灯	Mercury Lamp
318			21 ． 05	85393990	专用黄灯管	Fluoresent Lamp
319			21， 06	85393990	专用UV灯	UV Lamp
320			21 ． 07	85393290	专用金属卤化物灯
321			21 ． 08	85394900	专用紫外线灯